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J-GLOBAL ID：200902213819931122   Reference number：06A0255276

SEM-EDX with an SDD X-Ray Detector Installed onto the Scanning Electron Microscope

シリコンドリフト線検出器による走査電子顕微鏡でのSEM-EDX

Author (2)： ISHII HIDESHI (京大 大学院工学研究科) ,  KAWAI JUN (京大 大学院工学研究科)
Material： X線分析の進歩  (X線工業分析)
Volume： 37  Page： 281-288  Publication year： Mar. 31, 2006 
JST Material Number： Z0547B  ISSN： 0911-7806  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *Si semiconductor detector ,...

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JST classification (2)： Physical analysis of metals and alloys  (CC03040V) ,  Brazing  (WC07050C)

Reference (15)：

• 高橋秀之: “ SEM-EDS”,「蛍光X線分析の実際」, 中井泉編, pp. 136(2005),(朝倉書店).
• http://www.rontec.com/ (2006年1月アクセス).
• http://www.iss-group.co.uk/edx.htm (2006年1月アクセス).
• http://www.jeol.co.jp/ (2006年1月アクセス).
• http://www.ourstex.co.jp/SDD.html (2006年1月アクセス).

Terms in the title (5)： シリコン ,  ドリフト ,  検出器 ,  走査電子顕微鏡 ,  SEM-EDX