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J-GLOBAL ID：200902216014069644   Reference number：04A0408237

表面積が増加できるスパッタチタン膜の酸化処理方法の検討

Author (2)：
KANEKO TADAO

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(群馬工高専)

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SHIMODA KEIICHI

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Material：
日本材料学会学術講演会講演論文集  (Proceedings of the JSMS Annual Meetings)

About 日本材料学会学術講演会講演論文集


Volume： 53rd  Page： 199-200  Publication year： May. 14, 2004 
JST Material Number： Y0052A  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)
Thesaurus term：
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JST classification (2)：
JST classification
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Oxide thin films 
(BK14050P)

About Oxide thin films

,  Solar cell 
(NC03084O)

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Terms in the title (4)：
Terms in the title
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表面積

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スパッタ

About スパッタ

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チタン膜

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酸化処理

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