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J-GLOBAL ID：200902216869397088   Reference number：05A0722087

プラズマイオン注入・成膜(PBIID)法によって作製したDLC膜の残留応力測定

Author (5)： MIKI YASUHIRO (奈良県工技セ) ,  ADACHI SHIGEHIRO (奈良県工技セ) ,  NISHIMURA YOSHIMI (栗田製作所) ,  SUGIHARA MASAHIKO (栗田製作所) ,  HORINO YUJI (産業技術総合研 ダイヤモンド研究セ)
Material： 奈良県工業技術センター研究報告  (Report of Nara Prefectural Institute of Industrial Technology)
Issue： 31  Page： 10-15  Publication year： 2005 
JST Material Number： G0952A  ISSN： 1346-0749  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *DLC film ,...
Semi thesaurus term： PBIID法

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JST classification (3)： Carbon and its compounds  (YB02060D) ,  Techniques and equipment of thin film deposition  (BK14020I) ,  Applications of plasma  (BJ02110K)

Terms in the title (7)： プラズマイオン注入 ,  成膜 ,  法 ,  作製 ,  DLC膜 ,  残留 ,  応力測定