Art

J-GLOBAL ID：200902216949049056   Reference number：04A0899528

Temperature-Measurement System Using Optical Fiber-Type Low-Coherence Interferometry for MultiLayered Substrate

多層基板のための光ファイバ型低コヒーレンス干渉法を用いた温度測定システム

Author (6)： TAKEDA K (Wakayama Univ., Wakayama, JPN) ,  TOMEKAWA Y (Wakayama Univ., Wakayama, JPN) ,  SHIINA T (Wakayama Univ., Wakayama, JPN) ,  ITO M (Wakayama Univ., Wakayama, JPN) ,  OKAMURA Y (Wakayama Univ., Wakayama, JPN) ,  ISHII N (Tokyo Electron Ltd., Tokyo, JPN)
Material： Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Brief Communications & Review Papers)
Volume： 43  Issue： 11A  Page： 7737-7741  Publication year： Nov. 15, 2004 
JST Material Number： G0520B  ISSN： 0021-4922  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *thermometry ,...

   To see more with JDream III (charged).   {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=04A0899528&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=G0520B") }}

JST classification (2)： Thermometry,thermometer  (AD06010K) ,  Interferometry and interferometers  (BD07070G)

Reference (16)：

• 1) H. Takada: J. IEE. Japan 120 (2000) 352.
• 2) V. M. Donnelly and J. A. McCaulley: J. Vac. Sci. & Technol. A <B>8</B> (1990) 84.
• 3) V. M. Donnelly: J. Vac. Sci. & Technol. A <B>11</B> (1993) 2393.
• 4) K. L. Saenger, F. Tong, J. S. Logan and W. H. Holber: Rev. Sci. Instrum. 63 (1992) 3862.
• 5) J. Kikuchi, R. Kurosaki and S. Fujimura and H. Yano: J. Vac. Sci. & Technol. A <B>15</B> (1997) 2035.

Terms in the title (5)： 多層基板 ,  光ファイバ ,  コヒーレンス ,  干渉法 ,  温度測定システム