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J-GLOBAL ID：200902217987820595   Reference number：07A1008135

DEVELOPMENT OF APPLICATION TECHNOLOGY FOR USING A THIN FILM ITO (INDIUM TIN OXIDE) BASED OZONE SENSOR IN PRACTICAL USE

ITO(スズ添加酸化インジウム)薄膜を用いた高感度オゾンセンサの実用化

Author (3)： YANAGITANI JUNKO (エフアイエス) ,  MATSUMOTO SHIN'ICHI (エフアイエス) ,  ONAGA KAZUO (エフアイエス)
Material： Chemical Sensors  (化学センサ)
Volume： 23  Issue： Supplement B  Page： 22-24  Publication year： Sep. 19, 2007 
JST Material Number： L3948A  CODEN： KAGSEU  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *tin ,...
Semi thesaurus term： additive

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JST classification (2)： Semiconductor thin films  (BK14040E) ,  Measurement,monitoring and instrumentation of chemical process  (XC02030Y)

Reference (3)：

• H. Koda, H. nakajama, A. Hattori, N. Yoshiike, Proc.32^nd Chem, Sensors, 17, 34(2001).
• M. Hanada, H. Nakajima, M. Sakamoto, A. Uesaka, H. Koda, Proc.9^thh IMCS, 138(2002).
• 花田真理子, セラミックス, 38, 425(2003).

Terms in the title (7)： ITO ,  スズ ,  酸化インジウム ,  薄膜 ,  高感度 ,  オゾン ,  実用化