Art

J-GLOBAL ID：200902218900546472   Reference number：09A0307778

DEPOSITION OF DIAMOND-LIKE-CARBON FILM BY ATMOSPHERIC PRESSURE TRANSIENT GLOW MICRODISCHARGE USING FAST HIGH-VOLTAGE PULSE TRAIN GENERATOR

高速高電圧パルス列発生器を用いた大気圧過渡的グローマイクロ放電によるダイヤモンド様炭素薄膜の蒸着

Author (5)： IBUKA S. (Tokyo Inst. Technol., Tokyo, JPN) ,  HARADA K. (Tokyo Inst. Technol., Tokyo, JPN) ,  KIKUCHI J. (Tokyo Inst. Technol., Tokyo, JPN) ,  IGARASHI K. (Tokyo Inst. Technol., Tokyo, JPN) ,  ISHII S. (Tokyo Inst. Technol., Tokyo, JPN)
Material： Research Report. NIFS-PROC Series  (NIFS-PROC (National Institute for Fusion Science))
Issue： 79  Page： 66-71  Publication year： Mar. 02, 2009 
JST Material Number： L0798A  ISSN： 0915-6348  Document type： Proceedings
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *plasma CVD ,  glow discharge ,  pulse train ,  gas flow ,  *pulse generator ,  pulse duration ,  scanning electron microscope ,  electron microscopy ,  *DLC film ,  Raman spectrum ,  microhardness ,  indentation hardness ,  atmospheric plasma
Semi thesaurus term： *DLC film ,  nanohardness ,  micro plasma ,  *マイクロ放電 ,  atmospheric pressure plasma

JST classification (1)： Thin films of other inorganic compounds  (BK14060A)

Terms in the title (8)： 高電圧 ,  パルス列 ,  発生器 ,  大気圧 ,  放電 ,  ダイヤモンド様炭素 ,  薄膜 ,  蒸着