Art

J-GLOBAL ID：200902218975749611   Reference number：04A0303685

Phase shifting SEM moire method

位相シフトSEMモアレ法

Author (5)： XIE H (Tsinghua Univ., Beijing, CHN) ,  SHANG H (Tsinghua Univ., Beijing, CHN) ,  DAI F (Tsinghua Univ., Beijing, CHN) ,  LI B (Tsinghua Univ., Beijing, CHN) ,  XING Y (Inner Mongolia Poly Technique Univ., Huhhot, CHN)
Material： Optics & Laser Technology  (Opt Laser Technol)
Volume： 36  Issue： 4  Page： 291-297  Publication year： Jun. 2004 
JST Material Number： D0245B  ISSN： 0030-3992  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Netherlands (NLD)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *moire ,...
Semi thesaurus term： moire fringes

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JST classification (2)： Electron diffraction methods  (BK01030T) ,  Electron and ion microscopes  (BD02050B)

Terms in the title (3)： 位相シフト ,  SEM ,  モアレ法