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J-GLOBAL ID：200902219545550176   Reference number：07A0230105

Formation Technique of Nanometer Level Flatness in Ultra-Smoothness Grinding Method Based on New Concept (1st Report)-Influence of Parallel Step Feed to Grinding Direction on Surface Flatness-

新概念超平滑研削法によるナノメータレベル平坦面生成技術の検討(第1報)-平坦度に及ぼす研削方向平行間欠送り量の影響-

Author (3)： YASUI HEIJI (熊本大 大学院) ,  YAMAMOTO YUKI (熊本大 大学院) ,  SAKAMOTO RYUSHIRO (熊本大 大学院)
Material： 精密工学会誌(CD-ROM)  (精密工学会誌論文集)
Volume： 73  Issue： 3  Page： 345-349  Publication year： Mar. 05, 2007 
JST Material Number： F0268B  ISSN： 1348-8716  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *grinding ,...

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JST classification (1)： Grinding  (QC03000R)

Reference (1)：

• 安井平司. 研磨レス超平滑研削法の開発 (第1報)-その考え方と一, 二の実験的検討-. 精密工学会誌. 2003, 69, 12, 1713

Terms in the title (6)： 概念 ,  研削 ,  ナノメータレベル ,  平坦面 ,  平坦度 ,  間欠送り