Art

J-GLOBAL ID：200902219740558327   Reference number：04A0415580

Laser Micro Drilling Using a Nanosecond-Pulse Bessel Beam

ナノ秒パルス・ベッセルビームを用いたレーザーマイクロドリル

Author (2)： MATSUOKA YOSHIHIKO (産業技術総合研 マイクロ・ナノ機能広域発現研セ) ,  KONO MASAMICHI (産業技術総合研 マイクロ・ナノ機能広域発現研セ)
Material： レーザー研究  (レーザー学会誌)
Volume： 32  Issue： 5  Page： 348-351,370  Publication year： May. 15, 2004 
JST Material Number： X0335A  ISSN： 0387-0200  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *laser beam drilling ,...

   To see more with JDream III (charged).   {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=04A0415580&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=X0335A") }}

JST classification (2)： Special machining  (QC04000Y) ,  Applications of lasers  (BD04100V)

Reference (16)：

• 1) H. Zheng, E. Gan, and G. C. Lim: Opt. Lasers Eng. 36 (2001) 355.
• 2) G. K. L. Ng and L. Li: Opt. Laser Technol. 33 (2001) 393.
• 3) E. Gofuku, T. Ohnawa, M. Takada, F. Matsukawa, and M. Nunoshita: Appl. Surf. Sci. 64 (1993) 353.
• 4) X. Zhu, D. M. Villeneuve, A. Yu. Naumov, S. Nikumb, and P. B. Corkum: Appl. Surf. Sci. 152 (1999) 138.
• 5) J. Bekesi, J. -H. Klein-Wiele, and P. Simon: Appl. Phys. A 76 (2003) 355.

Terms in the title (4)： ナノ秒パルス ,  ベッセルビーム ,  レーザー ,  マイクロドリル