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J-GLOBAL ID：200902220586466552   Reference number：05A0561737

Development of low noise cantilever deflection sensor for multienvironment frequency-modulation atomic force microscopy

多環境原子間力顕微鏡用の低雑音カンチレバー偏向センサの開発

Author (5)： FUKUMA Takeshi (Kyoto Univ., Kyoto, JPN) ,  KIMURA Masayuki (Kyoto Univ., Kyoto, JPN) ,  KOBAYASHI Kei (Kyoto Univ., Kyoto, JPN) ,  MATSUSHIGE Kazumi (Kyoto Univ., Kyoto, JPN) ,  YAMADA Hirofumi (Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
Material： Review of Scientific Instruments  (Rev Sci Instrum)
Volume： 76  Issue： 5  Page： 053704.1-053704.8  Publication year： May. 2005 
JST Material Number： D0517A  ISSN： 0034-6748  CODEN： RSINAK  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *atomic force microscope ,...
Semi thesaurus term： environmental impact ,...

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JST classification (2)： Microscopy determination of structures  (BK01040E) ,  Optical instruments and techniques in general  (BD07010S)

Terms in the title (6)： 環境 ,  原子間力顕微鏡 ,  低雑音 ,  カンチレバー ,  偏向 ,  開発