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J-GLOBAL ID：200902221862411739   Reference number：05A0678107

Properties of MgTiO₃ thin films prepared by RF magnetron sputtering for microwave application

マイクロ波応用のためのRFマグネトロンスパッタリングにより調製されたMgTiO₃薄膜の性質

Author (2)： CHEN Yuan-bin (Dep. of Electrical Engineering, National Cheng Kung Univ., 1 Univ. Rd., Tainan 70101, Taiwan) ,  HUANG Cheng-liang (Dep. of Electrical Engineering, National Cheng Kung Univ., 1 Univ. Rd., Tainan 70101, Taiwan)
Material： Journal of Crystal Growth  (J Cryst Growth)
Volume： 282  Issue： 3-4  Page： 482-489  Publication year： Sep. 01, 2005 
JST Material Number： B0942A  ISSN： 0022-0248  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Netherlands (NLD)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： sputtered deposition ,...

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JST classification (2)： Oxide thin films  (BK14050P) ,  Dielectrics in general  (BM05010F)

Terms in the title (6)： マイクロ波 ,  応用 ,  RFマグネトロンスパッタリング ,  調製 ,  薄膜 ,  性質