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J-GLOBAL ID：200902222343619400   Reference number：03A0262172

Accelerator Aging Effects During Copper Electrodeposition.

銅電着過程における促進剤熟成効果

Author (4)： MOFFAT T P (National Inst. Standards and Technol., Maryland, USA) ,  BAKER B (National Inst. Standards and Technol., Maryland, USA) ,  WHEELER D (National Inst. Standards and Technol., Maryland, USA) ,  JOSELL D (National Inst. Standards and Technol., Maryland, USA)
Material： Electrochemical and Solid-State Letters  (Electrochem Solid-State Lett)
Volume： 6  Issue： 4  Page： C59-C62  Publication year： Apr. 2003 
JST Material Number： W1290A  ISSN： 1099-0062  CODEN： ESLEF6  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *Copper ,...
Semi thesaurus term： positive electrode ,...

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JST classification (2)： Electrochemical reaction  (CB07050F) ,  Electroplating  (WC08023B)

Substance index (2)： 3-(Sodiosulfo)propane-1-thiol ,  Bis-sodium sulfopropyldisulfide

Terms in the title (5)： 銅 ,  電着 ,  過程 ,  促進剤 ,  熟成