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J-GLOBAL ID：200902222363192828   Reference number：06A0314208

Optical Properties of Palladium Oxide Thin Films Prepared by Reactive Sputtering

反応性スパッタリング法により作製されたパラジウム酸化物薄膜の光学的特性

Author (7)： NAKAGAWA KOICHI (明治大 理工) ,  IWAI YUKI (明治大 理工) ,  KOBAYASHI HIRONORI (明治大 理工) ,  MIURA NOBORU (明治大 理工) ,  NAKANO RYOTARO (明治大 理工) ,  MATSUMOTO SETSUKO (明治大 理工) ,  MATSUMOTO HIRONAGA (明治大 理工)
Material： 明治大学理工学部研究報告  (Research Reports. School of Science and Technology, Meiji University)
Issue： 34  Page： 13-17  Publication year： Mar. 31, 2006 
JST Material Number： F0517B  ISSN： 0916-4944  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *reactive sputtering ,...

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JST classification (1)： Oxide thin films  (BK14050P)

Terms in the title (5)： 反応性スパッタリング ,  作製 ,  パラジウム ,  酸化物薄膜 ,  光学的特性