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J-GLOBAL ID：200902223081290866   Reference number：09A0703246

Towards foundry approach for silicon photonics: silicon photonics platform ePIXfab

シリコンフォトニクスのためのファウンドリ手法:シリコンフォトニクスプラットフォームePIXfab

Author (5)： DUMON P. (Ghent Univ., Gent, BEL) ,  BOGAERTS W. (Ghent Univ., Gent, BEL) ,  BAETS R. (Ghent Univ., Gent, BEL) ,  FEDELI J.-M. (CEA-LETI, Grenoble, FRA) ,  FULBERT L. (CEA-LETI, Grenoble, FRA)
Material： Electronics Letters  (Electron Lett)
Volume： 45  Issue： 12  Page： 581-582  Publication year： Jun. 04, 2009 
JST Material Number： A0887A  ISSN： 0013-5194  CODEN： ELLEAK  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： United Kingdom (GBR)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： optoelectronics ,  silicon ,  foundry ,  *platform (communication) ,  WSI ,  portfolio ,  Ecosystem ,  *silicon photonics
Semi thesaurus term： wafer scale integration ,  Ecosystem ,  *foundry

JST classification (2)： Optical devices in general  (BD06010L) ,  Semiconductor integrated circuit  (NC03162T)

Terms in the title (3)： シリコンフォトニクス ,  ファウンドリ ,  手法