Art

J-GLOBAL ID：200902226054865686   Reference number：03A0106171

Secondary ion mass spectrometry using cluster primary ion beams.

クラスタ一次イオンビームを用いた二次イオン質量分析

Author (2)： GILLEN G (National Inst. Standards and Technol., MD, USA) ,  FAHEY A (National Inst. Standards and Technol., MD, USA)
Material： Applied Surface Science  (Appl Surf Sci)
Volume： 203/204  Page： 209-213  Publication year： Jan. 15, 2003 
JST Material Number： B0707B  ISSN： 0169-4332  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Netherlands (NLD)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *cluster ion ,...

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JST classification (2)： Mass spectrometry  (CC03013N) ,  Spectra of polymers  (CG02033O)

Terms in the title (3)： クラスタ ,  イオンビーム ,  二次イオン質量分析