Art

J-GLOBAL ID：200902226128606408   Reference number：03A0471224

Application feasibility of high-performance-type plasma jet device to various material processes

各種材料処理への高性能型プラズマジェット装置の応用実現可能性

Author (3)： OSAKI K (Yamaguchi Univ., Yamaguchi, JPN) ,  FUJIMOTO S (Yamaguchi Univ., Yamaguchi, JPN) ,  FUKUMASA O (Yamaguchi Univ., Yamaguchi, JPN)
Material： Thin Solid Films
Volume： 435  Issue： 1/2  Page： 56-61  Publication year： Jul. 01, 2003 
JST Material Number： B0899A  ISSN： 0040-6090  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： Netherlands (NLD)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *plasma jet ,...
Semi thesaurus term： plasma treatment

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JST classification (2)： Plasma devices  (BJ02082I) ,  Plasma flows,magnetohydrodynamics of plasma  (BJ02040I)

Terms in the title (4)： 高性能 ,  プラズマジェット ,  応用 ,  実現可能性