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J-GLOBAL ID：200902226508746806   Reference number：07A0647653

プラズマ支援スパッタリング法によるGaSb_xN_1-X薄膜の結晶性評価

Author (1)： TAMADA KOJI (東京工高専)
Material： 大阪大学接合科学研究所共同研究報告
Volume： 2005  Page： 95-96  Publication year： Sep. 2006 
JST Material Number： L3949A  Document type： Article
Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Terms in the title (6)： プラズマ ,  支援 ,  スパッタリング法 ,  薄膜 ,  結晶性 ,  評価