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J-GLOBAL ID：200902227363578744   Reference number：07A1042929

PIEZOELECTRIC ACTUATOR INTEGRATED CANTILEVER WITH TUNABLE SPRING CONSTANT FOR ATOM PROBE

原子プローブ用に調整可能ばね定数とカンチレバーを一体化した圧電アクチュエータ

Author (5)： KAWAI Yusuke (Tohoku Univ., JPN) ,  ONO Takahito (Tohoku Univ., JPN) ,  MEYER Ernst (Univ. Basel, CHE) ,  GERBER Christoph (Univ. Basel, CHE) ,  ESASHI Masayoshi (Tohoku Univ., JPN)
Material： Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems  (IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems)
Volume： 19th Vol.2  Page： 778-781  Publication year： 2006 
JST Material Number： W0377A  ISSN： 1084-6999  Document type： Proceedings
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： cantilever beam ,...
Semi thesaurus term： PZT

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JST classification (2)： Design,manufacturing,and components of robots  (IC04013A) ,  Piezoelectric devices  (NC03110I)

Terms in the title (6)： 原子プローブ ,  調整可能 ,  ばね定数 ,  カンチレバー ,  一体化 ,  圧電アクチュエータ