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J-GLOBAL ID：200902227996097699   Reference number：09A1117355

A Varifocal Convex Micromirror Driven by a Bending Moment

曲げモーメントにより駆動した可変焦点凸面マイクロミラー

Author (2)： HOKARI Ryohei (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  HANE Kazuhiro (Tohoku Univ., Sendai, JPN)
Material： IEEE Journal of Selected Topics in Quantum Electronics  (IEEE J Sel Top Quantum Electron)
Volume： 15  Issue： 5  Page： 1310-1316  Publication year： Sep. 2009 
JST Material Number： W0734A  ISSN： 1077-260X  CODEN： IJSQEN  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *adaptive optics ,  *MEMS ,  *reflecting mirror ,  *variable structure system ,  *convex mirror ,  focal length ,  variability ,  bending moment ,  optical design ,  silicon ,  micromachining ,  wafer ,  SOI structure ,  mirror finishing ,  spherical mirror ,  drive ,  electric field ,  statistic ,  *micromirror ,  curvature radius ,  machining

JST classification (3)： Optical information processing  (BD03060T) ,  Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V) ,  Optical instrument elements and their materials  (QF05020K)

Terms in the title (4)： 曲げモーメント ,  可変焦点 ,  凸面 ,  マイクロミラー