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J-GLOBAL ID：200902228024205986   Reference number：05A0851772

Next generation energy saving FPD manufacturing technology and device.Zn O as IT O substitution material: Development of A l film.Possibility of conserve In and escape In to consider existing production line.

次世代省エネルギーFPD製造技術と装置 ITO代替材料としてのZnO:Al膜の開発-既存生産ラインを意識した省In,脱Inの可能性-

Author (1)： UTSUMI KENTARO (東ソー)
Material： 月刊ディスプレイ  (プロセスエンジニアのための月刊ディスプレイ)
Volume： 11  Issue： 10  Page： 67-72  Publication year： Oct. 01, 2005 
JST Material Number： L4454A  ISSN： 1341-3961  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *transference electrode ,...
Semi thesaurus term： flat-panel display ,...

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JST classification (2)： Materials of solid-state devices  (NC03020K) ,  Oxide thin films  (BK14050P)

Terms in the title (10)： 次世代 ,  省エネルギー ,  FPD ,  ITO ,  代替材料 ,  ZnO ,  Al膜 ,  開発 ,  意識 ,  可能性