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J-GLOBAL ID：200902228476849104   Reference number：03A0194231

光ファイバ端磁気光学プローブによる微細配線上の磁界分布計測

Author (4)： IWANAMI MIZUKI (超先端電子技術開発機構) ,  HOSHINO SHIGEKI (超先端電子技術開発機構) ,  KISHI MASATO (東大) ,  TSUCHIYA MASAHIRO (東大)
Material： 電子情報通信学会大会講演論文集  (電子情報通信学会ソサイエティ大会講演論文集)
Volume： 2003  Issue： 通信 1  Page： 436  Publication year： Mar. 03, 2003 
JST Material Number： G0508A  ISSN： 1349-1369  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： electromagnetic compatibility(interference) ,...
Semi thesaurus term： FEMOプローブ

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JST classification (2)： Noise measurement  (ND04030F) ,  Measuring methods and instruments of magnetism  (AD07060U)

Terms in the title (6)： 光ファイバ ,  磁気 ,  光学プローブ ,  微細配線 ,  磁界分布 ,  計測