マイクロ光造形法で作製した3次元微小構造のヤング率の測定  第三報

MIWA MASAFUMI; DOOKA KAZUCHIKA; TSUCHITANI SHIGEKI; KOSHIMOTO YASUHIRO

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J-GLOBAL ID：200902228571103551 Reference number：04A0914720

マイクロ光造形法で作製した3次元微小構造のヤング率の測定第三報

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Issue： 4-2 Page： 152-154 Publication year： Jul. 22, 2004
JST Material Number： X0733B ISSN： 1346-4922 Document type： Proceedings
Article type：短報 Country of issue： Japan (JPN) Language： JAPANESE (JA)

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Manufacturing technology of solid-state devices

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マイクロ光造形法で作製した3次元微小構造のヤング率の測定 第三報

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