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J-GLOBAL ID：200902229228533857   Reference number：09A0876133

Small Vibration Sensor Using Self-Coupling Effect of Semiconductor Laser

半導体レーザーの自己結合効果を用いた微小振動センサ

Author (3)： NAWA YASUHIKO (愛知工大) ,  TSUDA NORIO (愛知工大) ,  YAMADA JUN (愛知工大)
Material： レーザー研究  (レーザー学会誌)
Volume： 37  Issue： 8  Page： 619-623  Publication year： Aug. 15, 2009 
JST Material Number： X0335A  ISSN： 0387-0200  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *optical sensor ,  laser application ,  *vibration measurement ,  *semiconductor laser ,  mode coupling ,  shape measurement ,  vibrational amplitude ,  production process ,  experimental equipment ,  velocity measurement ,  distance measurement ,  reference signal ,  high sensitivity ,  automation ,  reflectivity ,  feedback ,  interferometer ,  angle of incidence ,  SN ratio
Semi thesaurus term： *laser sensor ,  vibration sensor ,  noncontact ,  optical feedback

JST classification (3)： Other optical devices  (BD06060O) ,  Excitation,generation and measurements of vibrations  (BB02030Z) ,  Semiconductor lasers  (BD04070L)

Reference (6)：

• GROOT, P. J. Appl. Opt. 1988, 21, 4475
• KREHUT, L. Opto-Electronics Rev. 2003, 11, 313
• GIULIANI, G. Proc. SPIE. 2002, 4827, 353
• SUDO, S. Jpn. J. Appl. Phys. 2006, 45, L926
• 中尾祐介. 電学論C. 2001, 121, 1819

Terms in the title (4)： 半導体レーザー ,  自己 ,  微小 ,  振動センサ