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J-GLOBAL ID：200902229750549461   Reference number：04A0150215

Deposition and mechanical evaluation of superhard Ti-Al-Si-N nanocomposite films by a hybrid coating system

ハイブリッド被覆システムによる超硬Ti-Al-Si-Nナノ複合膜の堆積及び機械的評価

Author (5)： PARK I-W (Pusan National Univ., Busan, KOR) ,  CHOI S R (Pusan National Univ., Busan, KOR) ,  SUH J H (Pohang Univ. Sci. and Technol. (POSTECH), Pohang, KOR) ,  PARK C-G (Pohang Univ. Sci. and Technol. (POSTECH), Pohang, KOR) ,  KIM K H (Pusan National Univ., Busan, KOR)
Material： Thin Solid Films
Volume： 447/448  Page： 443-448  Publication year： Jan. 30, 2004 
JST Material Number： B0899A  ISSN： 0040-6090  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Netherlands (NLD)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： silicon nitride ,...

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JST classification (3)： Thin films of other inorganic compounds  (BK14060A) ,  Mechanical properties of solids in general  (BL01021C) ,  Ceramic coating to metallic materials  (YC02050V)

Terms in the title (5)： Ti-Al ,  Si ,  ナノ複合膜 ,  堆積 ,  評価