Art

J-GLOBAL ID：200902229757525584   Reference number：08A0558995

Ultra-sensitive NEMS-based cantilevers for sensing, scanned probe and very high-frequency applications

感知,走査プローブ,そして超高周波数用途向けの超高感度NEMSベースカンチレバー

Author (3)： LI Mo (California Inst. of Technol., California, USA) ,  TANG H. X. (California Inst. of Technol., California, USA) ,  ROUKES M. L. (California Inst. of Technol., California, USA)
Material： Nature Nanotechnology  (Nat Nanotechnology)
Volume： 2  Issue： 2  Page： 114-120  Publication year： Feb. 2007 
JST Material Number： W2059A  ISSN： 1748-3387  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United Kingdom (GBR)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *cantilever beam ,  *atomic force microscope ,  micro circuit technique ,  fine patterning ,  scanning probe microscope ,  *electromechanical effect ,  piezoelectricity ,  *chemisorption ,  NEMS
Semi thesaurus term： cantilever

JST classification (1)： Electron and ion microscopes  (BD02050B)

Terms in the title (8)： 感知 ,  走査 ,  プローブ ,  高周波数 ,  用途 ,  高感度 ,  NEMS ,  カンチレバー