Art

J-GLOBAL ID：200902230456616264   Reference number：05A0580103

Design, Fabrication, and Characterization of a Submicroelectromechanical Resonator With Monolithically Integrated CMOS Readout Circuit

モノリシックに集積したCMOS読み出し回路を持つサブミクロンエレクトロメカニカルレゾネータの設計,製造及び特徴記述

Author (14)： VERD Jaume (Univ. Autonoma de Barcelona, Bellaterra, ESP) ,  ABADAL G. (Univ. Autonoma de Barcelona, Bellaterra, ESP) ,  TEVA J. (Univ. Autonoma de Barcelona, Bellaterra, ESP) ,  VILLARROYA GAUDO Maria (Univ. Autonoma de Barcelona, Bellaterra, ESP) ,  URANGA Arantxa (Univ. Autonoma de Barcelona, Bellaterra, ESP) ,  BORRISE Xavier (CSIC, Bellaterra, ESP) ,  CAMPABADAL Francesca (CSIC, Bellaterra, ESP) ,  ESTEVE Jaume (CSIC, Bellaterra, ESP) ,  FIGUERAS COSTA Eduardo (CSIC, Bellaterra, ESP) ,  PEREZ-MURANO Francesc (CSIC, Bellaterra, ESP) ,  DAVIS Zachary J. (Denmark Technical Univ., Lyngby, DNK) ,  FORSEN Esko (Denmark Technical Univ., Lyngby, DNK) ,  BOISEN Anja (Denmark Technical Univ., Lyngby, DNK) ,  BARNIOL Nuria (Univ. Autonoma de Barcelona, Bellaterra, ESP)
Material： Journal of Microelectromechanical Systems  (J Microelectromechanical Syst)
Volume： 14  Issue： 3  Page： 508-519  Publication year： Jun. 2005 
JST Material Number： W0357A  ISSN： 1057-7157  CODEN： JMIYET  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *CMOS structure ,...
Semi thesaurus term： NEMS

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JST classification (1)： Resonator  (NC04050Y)

Terms in the title (5)： 集積 ,  CMOS ,  読み出し回路 ,  設計 ,  記述