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J-GLOBAL ID：200902230457364900   Reference number：03A0788311

円形状微細穴形成に対する犠牲層としての電着レジストの適用

Author (5)： YASUI MANABU (神奈川県産業技総研) ,  KAKUSHIMA KUNIYUKI (東大 生産技研) ,  HIRABAYASHI YASUO (神奈川県産業技総研) ,  MITA MAKOTO (東大 生産技研) ,  FUJITA HIROYUKI (東大 生産技研)
Material： 電気学会論文誌 E  (IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines)
Volume： 123  Issue： 11  Page： 477-482  Publication year： Nov. 01, 2003 
JST Material Number： L3098A  ISSN： 1341-8939  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *ink jet printing ,...
Semi thesaurus term： インキノズル ,...

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JST classification (2)： I/O units  (JC04050U) ,  Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Reference (8)：

• (1) TOOL ENGINEER : Vol. 43, No. 8, pp. 9-78 (1999-8) (in Japanese)
• 機械と工具:43,8,pp. 9-78 (1999-8)
• (2) M. Yasui, et al. : “Micro Electro-forming Process using a silicon-mold”, Tech. Digest of 18th Sensor Symposium, 2001, pp. 65-68, Kawasaki (2001)
• (3) M. Yasui, K. Kakushima, Y. Hirabayashi, M. Mita, and H. Fujita : “Micro-hole fabrication using a Silicon-mold”, T. IEE Japan, Vol. 122-E, No. 8, pp. 4145-416 (2002-8) (in Japanese)
• 安井 学·角嶋邦之·平林康男·三田 信·藤田博之:「Si鋳型を用いた微細穴の試作」,電学論E,122,8,pp. 4145-416 (2002-8)

Terms in the title (5)： 円形状 ,  微細穴 ,  犠牲層 ,  電着 ,  レジスト