Art

J-GLOBAL ID：200902230856816475   Reference number：07A0478727

Fabrication of High Quality Ni_1-xPt_x Films for Use as Materials in High-Sensitivity Temperature Sensor

高感度温度センサ用の高品質Ni_1-xPt_x膜の作製

Author (6)： SATO Yutaka (Tokyo Univ. Agriculture and Technol., Tokyo, JPN) ,  ISHIBASHI Takayuki (Tokyo Univ. Agriculture and Technol., Tokyo, JPN) ,  OBARA Keisuke (Yamatake Corp., Kanagawa, JPN) ,  ICHIDA Shunji (Yamatake Corp., Kanagawa, JPN) ,  MORISHITA Yoshitaka (Tokyo Univ. Agriculture and Technol., Tokyo, JPN) ,  SATO Katsuaki (Tokyo Univ. Agriculture and Technol., Tokyo, JPN)
Material： Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters & Express Letters)
Volume： 46  Issue： 12-16  Page： L297-L299  Publication year： Apr. 25, 2007 
JST Material Number： F0599B  ISSN： 0021-4922  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *temperature sensor ,...
Semi thesaurus term： *RFマグネトロンスパッタリング

   To see more with JDream III (charged).   {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=07A0478727&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=F0599B") }}

JST classification (2)： Metallic thin films  (BK14030T) ,  Thermometry,thermometer  (AD06010K)

Terms in the title (4)： 高感度 ,  温度センサ ,  高品質 ,  作製