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J-GLOBAL ID：200902231577737162   Reference number：03A0738729

Ultrathin single-crystalline-silicon cantilever resonators: Fabrication technology and significant specimen size effect on Young’s modulus

超薄単結晶シリコンカンチレバー共振器 生産技術およびYoung率に及ぼす有意な試料サイズ効果

Author (4)： LI X (Shanghai Inst. of Microsystem and Information Technol., CAS, Shanghai, CHN) ,  ONO T (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  WANG Y (Shanghai Inst. of Microsystem and Information Technol., CAS, Shanghai, CHN) ,  ESASHI M (Tohoku Univ., Sendai, JPN)
Material： Applied Physics Letters  (Appl Phys Lett)
Volume： 83  Issue： 15  Page： 3081-3083  Publication year： Oct. 13, 2003 
JST Material Number： H0613A  ISSN： 0003-6951  CODEN： APPLAB  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *silicon ,...
Semi thesaurus term： カンチレバー共振器

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JST classification (2)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V) ,  Mechanical properties of solids in general  (BL01021C)

Terms in the title (6)： 単結晶シリコン ,  カンチレバー ,  共振器 ,  Young率 ,  試料 ,  サイズ効果