Art

J-GLOBAL ID：200902231925740180   Reference number：05A0232426

Friction and Wear Properties of SiC-Ti and SiC-Al Films Deposited by Simultaneous RF Magnetron Sputtering

高周波マグネトロン同時スパッタ法により形成したSiC-TiおよびSiC-Al薄膜の摩擦および摩耗特性

Author (4)： KATO MASAHIKO (広島大 大学院工学研究科) ,  NAKASA KEIJIRO (広島大 大学院工学研究科) ,  ZHENG J (広島大 大学院工学研究科) ,  HIROTA SATOSHI (広島大 大学院工学研究科)
Material： 日本機械学会論文集 A編  (Transactions of the Japan Society of Mechanical Engineers. Series A)
Volume： 71  Issue： 702  Page： 359-366  Publication year： Feb. 25, 2005 
JST Material Number： F0227B  ISSN： 0387-5008  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *thin film ,...

   To see more with JDream III (charged).   {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=05A0232426&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=F0227B") }}

JST classification (1)： Thin films of other inorganic compounds  (BK14060A)

Reference (11)：

• 加藤昌彦. 機論, A. 2001, 67, 658, 1009-1016
• 加藤昌彦. 機論, A. 2003, 69, 688, 1731-1739
• ゲ・ヴェ・サムソノフ. 高融点化合物便覧. 1977, 539
• 菅井秀郎. 応用物理. 1994, 63, 559-567
• 森田正. Ulvac Tech., J. 1996, 45, 10-14

Terms in the title (9)： 高周波 ,  マグネトロン ,  同時スパッタ法 ,  SiC ,  Ti ,  Al ,  薄膜 ,  摩擦 ,  摩耗特性