Art

J-GLOBAL ID：200902232155828641   Reference number：05A0870924

Blue luminescence from porous layers produced by metal-assisted chemical etching on low-doped silicon

低ドープシリコンへの金属支援化学エッチングによって形成される多孔層からの青色ルミネセンス

Author (5)： HADJERSI T. (Unite de Developpement de la Technol. du Silicium (UDTS), 2, Bd. Frantz Fanon, B.P. 399 Alger-Gare, Alger, DZA) ,  GABOUZE N. (Unite de Developpement de la Technol. du Silicium (UDTS), 2, Bd. Frantz Fanon, B.P. 399 Alger-Gare, Alger, DZA) ,  YAMAMOTO N. (Communications Res. Lab., Basic and Advanced Res., Div., 4-2-1, Nukui-kitamachi, Koganei,Tokyo, 184-8795, JPN) ,  BENAZZOUZ C. (CRNA, 2, Bd. Frantz Fanon, B.P. 399 Alger-Gare, Alger, DZA) ,  CHERAGA H. (Unite de Developpement de la Technol. du Silicium (UDTS), 2, Bd. Frantz Fanon, B.P. 399 Alger-Gare, Alger, DZA)
Material： Vacuum
Volume： 80  Issue： 4  Page： 366-370  Publication year： Oct. 28, 2005 
JST Material Number： E0347A  ISSN： 0042-207X  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United Kingdom (GBR)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *silicon ,...
Semi thesaurus term： シリコン

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JST classification (2)： Luminescence of semiconductors  (BM08092S) ,  Semiconductor thin films  (BK14040E)

Terms in the title (6)： ドープ ,  シリコン ,  金属支援化学エッチング ,  多孔層 ,  青色 ,  ルミネセンス