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J-GLOBAL ID：200902232272117160   Reference number：03A0329367

Large-Area Synthesis of Aligned Carbon Nanotubes by Surface-Wave-Excited Microwave-Plasma CVD

表面波励起マイクロ波プラズマによる大面積基板への配向カーボンナノチューブの作製

Author (6)： HAYASHI HIROYUKI (京都工繊大 工芸) ,  KOGA MIZUHO (京都工繊大 工芸) ,  KASHIRAJIMA JUN (京都工繊大 工芸) ,  TAKAHASHI KAZUMASA (京都工繊大 工芸) ,  HAYASHI YASUAKI (京都工繊大 工芸) ,  NISHINO SHIGEHIRO (京都工繊大 工芸)
Material： 真空  (Journal of the Vacuum Society of Japan)
Volume： 46  Issue： 3  Page： 249-252  Publication year： Mar. 20, 2003 
JST Material Number： G0194A  ISSN： 0559-8516  CODEN： SHINA  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *nanotube ,...

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JST classification (1)： Thin films of other inorganic compounds  (BK14060A)

Reference (4)：

• IIJIMA, S. Nature. 1991, 354, 56
• REN, Z. F. Science. 1998, 282, 1105
• HAYASHI, Y. J. Vac. Sci. Technol, A. 2001, 19, 1796
• MURAKAMI, H. Appl. Phys. Lett. 2000, 76, 13

Terms in the title (6)： 表面波励起 ,  マイクロ波プラズマ ,  大面積基板 ,  配向 ,  カーボンナノチューブ ,  作製