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J-GLOBAL ID：200902232864382720   Reference number：08A0416028

Characterization of miniaturized one-side-electrode-type fluid-based inclinometer

片側電極型ミニチュア流体利用傾斜計の特性評価

Author (3)： MANAF Asrulnizam Bin Abd (Fac. of Sci. and Technol., Dep. of Applied Physics and Physico-Informatics, Keio Univ., 3-14-1 Hiyoshi, Kohoku-ku ...) ,  NAKAMURA Kazumasa (Fac. of Sci. and Technol., Dep. of Applied Physics and Physico-Informatics, Keio Univ., 3-14-1 Hiyoshi, Kohoku-ku ...) ,  MATSUMOTO Yoshinori (Fac. of Sci. and Technol., Dep. of Applied Physics and Physico-Informatics, Keio Univ., 3-14-1 Hiyoshi, Kohoku-ku ...)
Material： Sensors and Actuators. A. Physical  (Sens Actuators A)
Volume： 144  Issue： 1  Page： 74-82  Publication year： May. 28, 2008 
JST Material Number： B0345C  ISSN： 0924-4247  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Netherlands (NLD)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *tilt angle ,  *inclinometer ,  performance evaluation ,  Miniaturization ,  electric double layer ,  condenser (capacitor) ,  packaging design ,  electrostatic capacity ,  sensor ,  polydimethylsiloxane ,  lithography ,  MEMS ,  CMOS structure ,  capacitance-voltage characteristic ,  converter ,  voltage ,  angular dependence ,  gradient ,  modification ,  MOS structure
Semi thesaurus term： gradient

JST classification (1)： Measuring methods and instruments of length,area,cross section,volume,angle  (AD05020O)

Terms in the title (4)： ミニチュア ,  流体 ,  傾斜計 ,  特性評価