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J-GLOBAL ID：200902233673477875   Reference number：08A0655844

Nano-Structuring of Polymer Surfaces by Multi-Beam Laser Interference for Application in Micro-Fluidics

マイクロ流体に応用するための多重ビームレーザ干渉による高分子表面のナノ構造化

Author (9)： KLOTZBUECHER T. (Inst. Mikrotechnik Mainz GmbH, Mainz, DEU) ,  RADKE A. (Inst. Mikrotechnik Mainz GmbH, Mainz, DEU) ,  TUNAYAR A. (Inst. Mikrotechnik Mainz GmbH, Mainz, DEU) ,  HAVERBECK O. (Inst. Mikrotechnik Mainz GmbH, Mainz, DEU) ,  WEINBENDER E. (Inst. Mikrotechnik Mainz GmbH, Mainz, DEU) ,  WUESTEN J. (Inst. Mikrotechnik Mainz GmbH, Mainz, DEU) ,  TOUFALI A. (Inst. Mikrotechnik Mainz GmbH, Mainz, DEU) ,  CLAUSSEN J. (Inst. Mikrotechnik Mainz GmbH, Mainz, DEU) ,  DETEMPLE P. (Inst. Mikrotechnik Mainz GmbH, Mainz, DEU)
Material： Proceedings of SPIE  (Proceedings. SPIE - The International Society for Optical Engineering)
Volume： 6880  Page： 68800F.1-68800F.12  Publication year： 2008 
JST Material Number： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  Document type： Proceedings
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *fluid device ,  *laser lithography ,  *optical interferometry ,  surface processing ,  nanostructure ,  gas laser ,  photoresist ,  *pattern formation ,  patterning(transcription) ,  metal mold ,  *embossing(plastic working) ,  hydrophobic ,  plasma treatment ,  polymerase chain reaction ,  biochip ,  *microfluidic device
Semi thesaurus term： He-Cd laser ,  *laser interference lithography ,  super-hydrophobic property

JST classification (3)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V) ,  Press working  (WC04050H) ,  Biophysical research methods  (EA03020V)

Terms in the title (7)： 流体 ,  応用 ,  多重 ,  ビーム ,  レーザ干渉 ,  高分子表面 ,  ナノ構造