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J-GLOBAL ID：200902233998697391   Reference number：06A0242184

Development of a Small Two Axis Spherical Motor Type Laser Tracker with Submicron Measurement Accuracy

サブミクロンの測定精度を有する小型2軸球面モータ型レーザ追尾距離測定装置の開発

Author (6)： YANO TOMOAKI (産業技術総合研) ,  TAKATSUJI TOSHIYUKI (産業技術総合研) ,  OSAWA SONKO (産業技術総合研) ,  SUZUKI TAKEO (安川電機) ,  MOTOMURA YOICHI (安川電機) ,  ITABE TADAO (安川電機)
Material： 電気学会論文誌 E  (IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines)
Volume： 126  Issue： 4  Page： 144-149  Publication year： Apr. 01, 2006 
JST Material Number： L3098A  ISSN： 1341-8939  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *range meter ,...
Semi thesaurus term： 球面モータ

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JST classification (2)： Measuring methods and instruments of length,area,cross section,volume,angle  (AD05020O) ,  Applications of lasers  (BD04100V)

Reference (15)：

• (1) T. Yano et. al. : “Actuator engineering”, Yokendo, Japan (2004) (in Japanese)
• 矢野智昭ほか:アクチュエータ工学,養賢堂 (2004)
• (2) T. Higuchi et. al. : “Research and development for the next generation actuator technology”, report of the study result on 2002 Grant-in-Aid for Scientific Research (Basic Research(C)(1)) No. 14605004 (2003) (in Japanese)
• 樋口俊郎ほか:「次世代アクチュエータ技術の予測調査研究」,平成14年度科学研究費補助金(基盤研究(C)(1))研究成果報告書 (2003)
• (3) T. Yano : “Multi dimensional drive system”, Proc. of the symposium on Power Electronics, Electrical Drives, Automation & Motion, Vol. 2, pp. T3A-21-T3A-24 (2004)

Terms in the title (8)： サブ ,  測定精度 ,  2軸 ,  球面モータ ,  レーザ ,  追尾 ,  距離測定装置 ,  開発