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J-GLOBAL ID：200902235178494367   Reference number：09A0291470

Development of TiN Coating System for Long Beam Ducts of Accelerators

加速器ビームダクト用TiNコーティングシステムの開発

Author (5)： SHIBATA KYO (高エネルギー加速器研究機構 加速器研究施設) ,  HISAMATSU HIROMI (高エネルギー加速器研究機構 加速器研究施設) ,  KANAZAWA KEN'ICHI (高エネルギー加速器研究機構 加速器研究施設) ,  SUETSUGU YUSUKE (高エネルギー加速器研究機構 加速器研究施設) ,  SHIRAI MITSURU (高エネルギー加速器研究機構 加速器研究施設)
Material： Journal of the Vacuum Society of Japan  (真空)
Volume： 52  Issue： 2  Page： 99-101 (J-STAGE)  Publication year： 2009 
JST Material Number： G0194A  ISSN： 1882-2398  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *titanium compound ,  *nitride ,  *covering ,  accelerator ,  *sputtered deposition ,  *beam line ,  solenoid coil
Semi thesaurus term： titanium nitride ,  coating

JST classification (1)： Thin films of other inorganic compounds  (BK14060A)

Reference (6)：

• 1) 例えば K. Ohmi: Phys. Rev. Lett., 75 (8) (1995) 1526.
• 2) Y. Suetsugu, K. Kanazawa, K. Shibata and H. Hisamatsu: NIM-PR-A, 578 (2007) 470.
• 3) Y. Suetsugu, K. Kanazawa, K. Shibata and H. Hisamatsu: NIM-PR-A, 556 (2006) 399.
• 4) P. He, H. C. Hseuh, M. Mapes, R. Todd, D. Weiss and D. Wilson: J. Vac. Sci. Technol. A, 22 (3) (2004) 705.
• 5) K. Shibata, H. Hisamatsu, K. Kanazawa, Y. Suetsugu and M. Shirai: Proceedings of the 4^th Annual Meeting of Particle Accelerator Society of Japna and the 32^th Linear Accelerator Meeting in Japan, Wako, Japan, (2007) 209. [in Japanese]

Terms in the title (5)： 加速器 ,  ビームダクト ,  TiN ,  コーティング ,  開発