Art

J-GLOBAL ID：200902236940447335   Reference number：09A0154840

Probing technique using circular motion of a microsphere controlled by optical pressure for a nanocoordinate measuring machine

光圧で制御されたミクロスフェアの円運動を用いたナノ座標測定機用のプロービング技術

Author (4)： MICHIHATA Masaki ,  NAGASAKA Yuto ,  HAYASHI Terutake ,  TAKAYA Yasuhiro
Material： Applied Optics  (Lasers, Photonics, and Environmental Optics)
Volume： 48  Issue： 2  Page： 198  Publication year： Jan. 10, 2009 
JST Material Number： B0026B  ISSN： 1559-128X  CODEN： APOPAI  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *coordinate measuring machine ,  *nanostructure ,  *optical probe ,  microsphere ,  rotation ,  *light pressure ,  optical control ,  optical measurement ,  light trapping ,  surface quality ,  circular orbit ,  parameter ,  space resolving power ,  measurement accuracy
Semi thesaurus term： position detection

JST classification (2)： Optical instruments and techniques in general  (BD07010S) ,  Optics in general  (BD03010Q)

Terms in the title (4)： 光圧 ,  ミクロスフェア ,  円運動 ,  座標測定機