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J-GLOBAL ID：200902237165234989   Reference number：06A0458105

ナノメートルサイズの微細加工技術と装置の開発 高速・低コストで大面積に50nmの微細加工を実現

Author (1)： KURIHARA KAZUMA (産業技術総合研 近接場光応用工学研究セ)
Material： 産総研TODAY
Volume： 6  Issue： 6  Page： 24-25  Publication year： Jun. 01, 2006 
JST Material Number： L4330A  ISSN： 1880-0041  Document type： Article
Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Terms in the title (5)： ナノメートルサイズ ,  微細加工技術 ,  開発 ,  大面積 ,  微細加工