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J-GLOBAL ID：200902237755728693   Reference number：07A1217395

Development of a Three Axis controlled Fast Tool Servo for Ultra Precision Machining (1st Report)-Development of 3-axis FTS Unit and evaluation of its characteristics-

超精密加工用3軸制御ファストツールサーボの開発(第1報)-ファストツールサーボユニットの試作と基本性能の評価-

Author (4)： WADA TOSHIHIKO (松下電器産業) ,  TAKAHASHI MASAYUKI (松下電器産業) ,  MORIWAKI TOSHIMICHI (摂南大 工) ,  NAKAMOTO KEIICHI (神戸大 大学院)
Material： 精密工学会誌(CD-ROM)  (精密工学会誌論文集)
Volume： 73  Issue： 12  Page： 1345-1349  Publication year： Dec. 05, 2007 
JST Material Number： F0268B  ISSN： 1348-8716  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *ultraprecision machining ,...
Semi thesaurus term： machining accuracy ,...

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JST classification (1)： Cutting in general  (QC02010V)

Reference (4)：

• OKAZAKI, Y. Fast tool servo system and its application to three dimensional fine figures. Proc. of 13th ASPE, 1998. 1998, 100
• DOW, T. A. Application of a fast tool servo for diamond turning of nonrotationally symmetric surfaces. Precision Engineering. 1991, 13, 4, 233
• 社本英二. 楕円振動切削加工法 (第1報)-加工原理と基本特性. 精密工学会誌. 1996, 62, 8, 1127
• 社本英二. 楕円振動切削加工法 (第4報)-工具振動システムの開発と超精密切削への応用. 精密工学会誌. 2001, 67, 11, 1871

Terms in the title (5)： 精密加工 ,  3軸 ,  開発 ,  試作 ,  評価