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J-GLOBAL ID：200902238280213118   Reference number：05A0905429

最近の話題を追って(I)DLC膜の合成に関するいくつかの試み

Author (1)： OTAKE NAOTO (東京工大 大学院理工学研究科)
Material： 表面技術  (Journal of the Surface Finishing Society of Japan)
Volume： 56  Issue： 10  Page： 587-593  Publication year： Oct. 01, 2005 
JST Material Number： G0441B  ISSN： 0915-1869  CODEN： HYGIEX  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *DLC film ,...
Semi thesaurus term： セグメント構造 ,...

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JST classification (1)： Thin films of other inorganic compounds  (BK14060A)

Reference (18)：

• 1) S. Aisenberg and R. Chabot ; J. Appl. Phys., 42, 2953 (1971)
• 2) J. Robertson ; Prog. Solid State Chem., 21, 199 (1991)
• 3) A. Grill and B. Meyerson ; Synthetic Diamond Emerging CVD Science and Technology, John Wiley & Sons, Inc., New York, N. Y., 91 (1994)
• 4) D. R. McKenzie ; Rep. Prog. Phys., 59, 1611 (1996)
• 5) 白倉 昌, 鹿毛 剛, 古賀義紀, 鈴木哲也;New Diamond, 1, 16, 2, 32 (2000)

Terms in the title (3)： 話題 ,  DLC膜 ,  試み