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J-GLOBAL ID：200902239415936871   Reference number：08A0492479

エアロゾルデポジション法-高機能部品の低コスト,省エネ製造への取り組み-

Author (5)： AKEDO JUN (産業技術総合研 先進製造プロセス研究部門) ,  NAKANO SHIZUKA (産業技術総合研 先進製造プロセス研究部門) ,  PARK J. (産業技術総合研 先進製造プロセス研究部門) ,  BABA SO (産業技術総合研 先進製造プロセス研究部門) ,  ASHIDA KIWAMU (産業技術総合研 先進製造プロセス研究部門)
Material： Synthesiology  (構成学)
Volume： 1  Issue： 2  Page： 130-138  Publication year： Apr. 2008 
JST Material Number： L6839A  ISSN： 1882-6229  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *aerosol (suspended solids) ,  *fine particle ,  *injection (jet) ,  covering ,  *thin film growth ,  *MEMS ,  *scanner ,  Energy efficient technologies ,  saving
Semi thesaurus term： energy saving ,  scanner

JST classification (1)： Special machining  (QC04000Y)

Reference (9)：

• [1] 日経ものづくり編集部:部品実装にもセル方式,日経ものづくり 2007年1月号,日経BP社,93(2007).
• [2] 明渡純,M. Lebedev:微粒子,超微粒子の衝突固化現象を用いたセラミックス薄膜形成技術-エアロゾルデポジション法による低温・高速コーティング-,まてりあ,41(7), 459-466 (2002).
• [3] J. Akedo: Aerosol deposition of ceramic thick films at room temperature: Densification mechanism of ceramic layers, J. Am. Ceram. Soc., 89 (6), 1834-1839 (2006).
• [4] <i>新エネルギー・産業技術総合開発機構「ナノレベル電子セラミックス材料低温成形・集積化技術」第2回プロジェクトワークショップ講演資料</i>,新エネルギー・産業技術総合開発機構&製造科学技術センター(2007).
• [5] 新エネルギー・産業技術総合開発機構:平成16年度NEDOエネルギー使用合理化技術戦略的開発/エネルギー有効利用基盤技術先導研究開発「衝撃結合効果を利用した窯業プロセスのエネルギー合理化技術に関する研究開発」プロジェクト成果報告書(2005).

Terms in the title (3)： エアロゾルデポジション法 ,  機能部品 ,  省エネ