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J-GLOBAL ID：200902239734448219   Reference number：04A0150960

Process-property relationship of boron carbide thin films by magnetron sputtering

マグネトロンスパッタリングによる炭化ほう素薄膜のプロセス-性質関係

Author (5)： WU M-L (Seagate Res., PA, USA) ,  KIELY J D (Seagate Res., PA, USA) ,  KLEMMER T (Seagate Res., PA, USA) ,  HSIA Y-T (Seagate Res., PA, USA) ,  HOWARD K (Seagate Res., PA, USA)
Material： Thin Solid Films
Volume： 449  Issue： 1/2  Page： 120-124  Publication year： Feb. 02, 2004 
JST Material Number： B0899A  ISSN： 0040-6090  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Netherlands (NLD)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *boron carbide ,...

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JST classification (2)： Thin films of other inorganic compounds  (BK14060A) ,  Mechanical properties of solids in general  (BL01021C)

Terms in the title (5)： マグネトロンスパッタリング ,  炭化ほう素 ,  薄膜 ,  プロセス ,  性質