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J-GLOBAL ID：200902239977240560   Reference number：03A0867724

Evaluation of Semiconductor Thin-Films through Thermal Conductivity by Photoacoustic Method

光音響法を用いた熱伝導率を通しての半導体薄膜の特性評価

Author (4)： TAKABATAKE NOBUYA (神奈川工科大) ,  KOBAYASHI TAKESHI (神奈川工科大) ,  FUJIYA MASAHARU (東海大) ,  IZUMI TOMIO (東海大)
Material： 熱物性  (日本熱物性学会会誌)
Volume： 17  Issue： 4  Page： 270-275  Publication year： Oct. 31, 2003 
JST Material Number： X0597A  ISSN： 0913-946X  CODEN： NEBUE4  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *photo-acoustic effect ,...

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JST classification (3)： Lattice defects in semiconductors  (BK12040Q) ,  Irradiational changes semiconductors  (BK16123E) ,  Specific heat and thermal conduction in general  (BL05021E)

Reference (28)：

• [1] Y. H. Pao(ed.); "Optoacoustic Spectroscopy and Detection"(Academic Press 1977).
• [2] A. Rosencwaig; "Photoacoustics and Photoacoustic Spectroscopy"(John Wiley&Sons 1980).
• [3] D. S. Kliger(ed.); "Ultrasensitive Laser Spectroscopy"(Academic Press 1983).
• [4] T. Tominaga, K. Ito; Jpn. J. Appl. Phys., 27(1988). 2392-2397.
• [5] A. M. Mansanares, A. C. Bento, H. Vergas, N. F. Leite, L. C. M. Miranda; Phys. Rev. B, 42(1990), 4477-4486.

Terms in the title (4)： 光音響法 ,  熱伝導率 ,  半導体薄膜 ,  特性評価