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J-GLOBAL ID：200902240517585117   Reference number：04A0095244

Hafnium Carbide Coated Poly-crystalline Silicon Field Emitter Array

HfC被覆ポリシリコンフィールドエミッタアレイ

Author (6)： NAGAO MASAYOSHI (産業技術総合研 エレクトロニクス研究部門) ,  SACHO YUTAKA (産業技術総合研 エレクトロニクス研究部門) ,  KANEMARU SEIGO (産業技術総合研 エレクトロニクス研究部門) ,  SATO TAKANOBU (筑波大 物理工学系) ,  MATSUKAWA TAKASHI (産業技術総合研 エレクトロニクス研究部門) ,  ITO JUNJI (産業技術総合研 エレクトロニクス研究部門)
Material： 電子情報通信学会技術研究報告  (IEICE Technical Report (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers))
Volume： 103  Issue： 497(ED2003 180-193)  Page： 1-6  Publication year： Dec. 12, 2003 
JST Material Number： S0532B  ISSN： 0913-5685  Document type： Proceedings
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： field emission ,...
Semi thesaurus term： Fowler-Nordheimプロット

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JST classification (3)： Thermoionic emission and field emission  (BM09020S) ,  Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V) ,  Electron and ion sources  (BD02020U)

Terms in the title (1)： HFC