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J-GLOBAL ID：200902240792951875   Reference number：06A0096996

Nanoholes Formed by Au Particles Digging into GaAs and InP Substrates by Reverse Vapor-Liquid-Solid Mechanism

逆気相-液相-固相メカニズムによりGaAsとInP基板にAu粒子が掘ったナノ孔形成

Author (3)： TATENO Kouta (NTT Corp., Kanagawa, JPN) ,  GOTOH Hideki (NTT Corp., Kanagawa, JPN) ,  NAKANO Hidetoshi (NTT Corp., Kanagawa, JPN)
Material： Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters & Express Letters)
Volume： 44  Issue： 50-52  Page： L1553-L1555  Publication year： Dec. 25, 2005 
JST Material Number： F0599B  ISSN： 0021-4922  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *etching ,...
Semi thesaurus term： 逆VLS成長 ,...

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JST classification (2)： Nobel metal catalysts  (CB06122I) ,  Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Reference (10)：

• 1) A. Yokoo, M. Notomi, H. Suzuki, M. Nakao, T. Tamamura and H. Masuda: IEEE J. Quantum Electron. 38 (2002) 938.
• 2) M. Notomi, A. Shinya, S. Mitsugi, E. Kuramochi and H.-Y. Ryu: Opt. Exp. 12 (2004) 1551.
• 3) K. Tateno, H. Gotoh and Y. Watanabe: Jpn. J. Appl. Phys. 44 (2005) L428.
• 4) R. S. Wagner and W. C. Ellis: Appl. Phys. Lett. 4 (1964) 89.
• 5) X. Duan and C. M. Lieber: Adv. Mater. 12 (2000) 298.

Terms in the title (8)： 気相 ,  液相 ,  固相 ,  メカニズム ,  GaAs ,  InP ,  Au ,  孔形成