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J-GLOBAL ID：200902240970627637   Reference number：05A0214918

Molecular precursors for the CVD of niobium and tantalum nitride

窒化ニオブと窒化タンタルの化学蒸着(CVD)の分子状前駆体

Author (6)： BLEAU J E (Univ. Coll. London, London, GBR) ,  CARMALT C J (Univ. Coll. London, London, GBR) ,  O'NEILL S A (Univ. Coll. London, London, GBR) ,  PARKIN I P (Univ. Coll. London, London, GBR) ,  WHITE A J P (Univ. Coll. London, London, GBR) ,  WILLIAMS D J (Univ. Coll. London, London, GBR)
Material： Polyhedron
Volume： 24  Issue： 3  Page： 463-468  Publication year： Feb. 17, 2005 
JST Material Number： C0301B  ISSN： 0277-5387  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Netherlands (NLD)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *niobium complex ,...

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JST classification (3)： 4A and 5A groups  (CE01070U) ,  Salts  (CD01050V) ,  Crystal structure of complex of transition metals(excluding iron group)  (BK09030X)

Substance index (2)： Trimethyl(amino)silane ,  3,5-Dimethylpyridine

Terms in the title (6)： 窒化ニオブ ,  窒化タンタル ,  化学蒸着 ,  CVD ,  分子状 ,  前駆体