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J-GLOBAL ID：200902241170510975   Reference number：07A0819898

Nanoenergetic Materials for MEMS: A Review

MEMS用ナノエネルギー材料:展望

Author (6)： ROSSI Carole (Lab. Analyse et d’Architecture des Systemes (LAAS), Centre National de la Rech. Scientifique, Toulouse, FRA) ,  ZHANG Kaili (Lab. Analyse et d’Architecture des Systemes (LAAS), Centre National de la Rech. Scientifique, Toulouse, FRA) ,  ESTEVE Daniel (Lab. Analyse et d’Architecture des Systemes (LAAS), Centre National de la Rech. Scientifique, Toulouse, FRA) ,  ALPHONSE Pierre (Centre Interuniversitaire de Rech. et d’Ingenierie des Materiaux (CIRIMAT), Toulouse, FRA) ,  TAILHADES Philippe (Centre Interuniversitaire de Rech. et d’Ingenierie des Materiaux (CIRIMAT), Toulouse, FRA) ,  VAHLAS Constantin (Centre Interuniversitaire de Rech. et d’Ingenierie des Materiaux (CIRIMAT), Toulouse, FRA)
Material： Journal of Microelectromechanical Systems  (J Microelectromechanical Syst)
Volume： 16  Issue： 4  Page： 919-931  Publication year： Aug. 2007 
JST Material Number： W0357A  ISSN： 1057-7157  CODEN： JMIYET  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： micro circuit technique ,...

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JST classification (1)： Materials of solid-state devices  (NC03020K)

Terms in the title (3)： MEMS ,  エネルギー材料 ,  展望