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J-GLOBAL ID：200902241539335250   Reference number：08A1260174

Proposal of a New Type Thin Film Vacuum Sensor Using the Short Circuit Current-Detection Type Thermocouple

短絡回路電流検知型熱電対を用いる新型薄膜真空センサの提案

Author (2)： TAKASHIMA Noriaki (Tohoku Gakuin Univ., Miyagi, JPN) ,  KIMURA Mitsuteru (Tohoku Gakuin Univ., Miyagi, JPN)
Material： Proceedings of the Sensor Symposium on Sensors, Micromachines, and Applied Systems  (Proceedings of the Sensor Symposium)
Volume： 25th  Page： 85-88  Publication year： Oct. 22, 2008 
JST Material Number： X0768A  Document type： Proceedings
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *vacuum gage ,  thermocouple ,  signal amplification ,  short circuit current ,  thermoelectromotive force ,  semiconductor integrated circuit ,  cantilever beam ,  SOI structure ,  heater ,  thermal insulation ,  micro heater

JST classification (1)： Vacuum production and techniques  (BA02020L)

Terms in the title (5)： 短絡回路電流 ,  熱電対 ,  薄膜 ,  真空 ,  提案