Art

J-GLOBAL ID：200902242282749802   Reference number：06A0905449

A differential capacitive three-axis SOI accelerometer using vertical comb electrodes

垂直櫛形電極を用いた差動容量型三軸SOI加速度計

Author (4)： HAMAGUCHI Hiroyuki (Kyoto Univ., Kyoto) ,  SUGANO Koji (Kyoto Univ., Kyoto) ,  TSUCHIYA Toshiyuki (Kyoto Univ., Kyoto) ,  TABATA Osamu (Kyoto Univ., Kyoto)
Material： Proceedings of the Sensor Symposium on Sensors, Micromachines, and Applied Systems  (Proceedings of the Sensor Symposium)
Volume： 23rd  Page： 471-476  Publication year： Oct. 05, 2006 
JST Material Number： X0768A  Document type： Proceedings
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *accelerometer ,...
Semi thesaurus term： DRIE

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JST classification (2)： Measuring methods and instruments of time,speed,acceleration,angular veloc?  (AD05040K) ,  Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Terms in the title (5)： 垂直 ,  櫛形電極 ,  差動 ,  SOI ,  加速度計