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J-GLOBAL ID：200902243326026206   Reference number：03A0263814

Ion beam-induced positive imaging of polyimide via two step imidization.

2段階イミド化によるポリイミドのイオンビーム誘起ポジティブイメージング

Author (5)： MAEKAWA Y (Japan Atomic Energy Res. Inst.,Takasaki, JPN) ,  SUZUKI Y (Tokyo Univ. Agriculture and Technol.,Koganei, JPN) ,  YOSHIDA M (Japan Atomic Energy Res. Inst.,Takasaki, JPN) ,  MAEYAMA K (Tokyo Univ. Agriculture and Technol.,Koganei, JPN) ,  YONEZAWA N (Tokyo Univ. Agriculture and Technol.,Koganei, JPN)
Material： Polymer
Volume： 44  Issue： 8  Page： 2307-2312  Publication year： Apr. 2003 
JST Material Number： D0472B  ISSN： 0032-3861  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Netherlands (NLD)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *polyarylether imide ,...

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JST classification (1)： Radiation polymer chemistry  (CG03050S)

Substance index (5)： Pyromellitic acid anhydride ,  4,4'-Oxybisaniline ,  Dapsone ,  4,4'-Methylenebisaniline ,  DSDA

Terms in the title (5)： 段階 ,  イミド化 ,  ポリイミド ,  イオンビーム ,  誘起